掃描電子顯微鏡產(chǎn)品介紹
Helios 5 Hydra DualBeam掃描電子顯微鏡產(chǎn)品介紹:
Helios 5 Hydra DualBeam 通過(guò)結(jié)合高通量等離子技術(shù)和高分辨率 FIB-SEM 斷層掃描,開(kāi)啟了未經(jīng)探索的全新生命科學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域。
由于采用具有四個(gè)離子種類的最先進(jìn)電感耦合等離子體 (ICP) FIB,可為每種樣品使用最佳離子束。
無(wú)論制備方法或樹(shù)脂類型如何,都可為每個(gè)樣品實(shí)現(xiàn)出色的表面質(zhì)量。
除了更高的銑削通量和樣品兼容性外,先進(jìn)的軟件套件還有助于實(shí)現(xiàn)一致、高質(zhì)量、無(wú) Ga 的大容量采集和 3D 數(shù)據(jù)分析。
對(duì)于生命科學(xué)研究,Helios Hydra DualBeam 提供:
無(wú)偽影銑削,無(wú)論樣品制備方法如何
可達(dá)到 Ga-FIB 銑削量 10 倍的快速高效銑削
全自動(dòng) 3D 數(shù)據(jù)采集,結(jié)合 Auto Slice & View 軟件,可實(shí)現(xiàn)更高通量
使用旋轉(zhuǎn)銑削,可對(duì)大型水平表面(直徑不超過(guò) 1 mm)進(jìn)行納米厚度連續(xù)切片
一種適合多用戶環(huán)境的多功能解決方案,兼容多種樣品和實(shí)驗(yàn)問(wèn)題
Helios 5 Hydra DualBeam 掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn):
應(yīng)用空間廣泛
獨(dú)特離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類,應(yīng)用空間廣泛:Xe、Ar、O、N
高通量和高質(zhì)量
使用下一代 2.5 μA 等離子 FIB 色譜柱進(jìn)行高通量、高質(zhì)量和統(tǒng)計(jì)學(xué)相關(guān)的 3D 表征、交叉切片和微加工。
先進(jìn)的自動(dòng)化
使用選配的 AutoTEM 5 軟件,以最快速輕松的方式實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化多點(diǎn)原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片
高質(zhì)量樣品制備
由于采用新型 PFIB 色譜柱,可實(shí)現(xiàn) 500 V 最終拋光以及在所有操作條件下均可提供出色的性能,可以用氙、氬或氧進(jìn)行高質(zhì)量無(wú)鎵 TEM 和 APT 樣品制備。
納米級(jí)實(shí)現(xiàn)周期短
借助 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù),任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶都可以最短時(shí)間獲得納米級(jí)信息
完整的樣品信息
可通過(guò)多達(dá)六個(gè)集成在色譜柱內(nèi)和透鏡下的集成探頭獲得清晰、精確且無(wú)電荷對(duì)比度的最完整的樣品信息
電子和離子束誘導(dǎo)沉積和蝕刻
通過(guò)選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統(tǒng),在 DualBeam 系統(tǒng)上實(shí)現(xiàn)最先進(jìn)的電子和離子束誘導(dǎo)沉積和蝕刻功能。
精確的樣品導(dǎo)航
借助 150 mm 壓電載物臺(tái)的高穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性或 110 mm 載物臺(tái)的靈活性以及選配的腔室內(nèi) Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機(jī),可根據(jù)具體應(yīng)用需求進(jìn)行定制。
無(wú)偽影成像
基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式,例如 SmartScan 和 DCFI 模式
應(yīng)用:
采用電鏡進(jìn)行過(guò)程控制
現(xiàn)代工業(yè)需求高通量、質(zhì)量卓越、通過(guò)穩(wěn)健的工藝控制維持平衡。SEM掃描電鏡和TEM透射電鏡工具結(jié)合專用的自動(dòng)化軟件,為過(guò)程監(jiān)控和改進(jìn)提供了快速、多尺度的信息。
質(zhì)量控制和故障分析
質(zhì)量控制和保證對(duì)于現(xiàn)代工業(yè)至關(guān)重要。我們提供一系列用于缺陷多尺度和多模式分析的 EM電子顯微鏡和光譜工具,使您可以為過(guò)程控制和改進(jìn)做出可靠、明智的決策。
使用電鏡進(jìn)行基礎(chǔ)材料研究
越來(lái)越小規(guī)模研究新型材料,以最大限度低控制其物理和化學(xué)特性。電子顯微鏡為研究人員提供了微米到納米級(jí)各種材料特性的重要見(jiàn)解。
掃描電子顯微鏡技術(shù)參數(shù)
Helios 5 Hydra DualBeam 掃描電子顯微鏡性能數(shù)據(jù):
電子束分辨率
在最佳 WD:1 kV 時(shí) 0.7 nm、500 V (ICD) 時(shí) 1.0 nm
在重合點(diǎn):15 kV 時(shí) 0.6 nm、1 kV 時(shí) 1.2 nm
電子束參數(shù)空間
電子束電流范圍:在所有加速電壓下 0.8 pA 至 100 nA
加速電壓范圍:350 V – 30 kV
著陸能量范圍:20* eV – 30 keV
最大水平射野寬度:4 mm WD 時(shí) 2.3 mm
離子光學(xué)系統(tǒng)
高性能 PFIB 色譜柱,具有獨(dú)特的電感耦合等離子 (ICP) 源,支持四種離子種類,并具有快速切換能力
離子種類(初級(jí)離子束):Xe、Ar、O、N
切換時(shí)間 <10 分鐘,僅需軟件操作
離子束電流范圍:1.5 pA 至 2.5 μA
加速電壓范圍:500V – 30 kV
最大水平射野寬度:在等離子束重合點(diǎn)處為 0.9 mm
重合點(diǎn)時(shí)的氙離子束分辨率
<使用首選統(tǒng)計(jì)方法在 30 kV 時(shí)為 20 nm
使用選擇性邊緣方法在 30 kV 時(shí) <10 nm
腔室
在分析 WD 時(shí)的 E 和 I 束重合點(diǎn) (4 mm SEM)
端口:21
內(nèi)部寬度:379 mm
集成式等離子清潔器
探頭
Elstar 色譜柱鏡筒內(nèi) SE/BSE 探頭(TLD-SE、TLD-BSE)
Elstar 色譜柱柱內(nèi) SE/BSE 探頭 (ICD)*
Everhart-Thornley SE 檢測(cè)器 (ETD)
查看樣品/色譜柱的 IR 攝像機(jī)
用于二級(jí)離子 (SI) 和二級(jí)電子 (SE) 的高性能腔室內(nèi)電子和離子探頭 (ICE)
腔室內(nèi) Nav-Cam 樣品導(dǎo)航攝像機(jī)*
可伸縮、低電壓、高對(duì)比度、定向、固態(tài)反向散射電子探頭 (DBS)*
集成的等離子束電流測(cè)量
載物臺(tái)和樣品
靈活的五軸電動(dòng)載物臺(tái):
XY 范圍:110 mm
Z 范圍:65 mm
旋轉(zhuǎn):360°(無(wú)限)
傾斜范圍:-38° 至 +90°
XY 重復(fù)性:3 μm
最大樣品高度:與共心點(diǎn)間距 85 mm
0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量:5 kg(包括樣品架)
最大樣品尺寸:完全旋轉(zhuǎn)時(shí) 110 mm(也可以是更大的樣品,但旋轉(zhuǎn)有限)
計(jì)算中心旋轉(zhuǎn)和傾斜
高精度五軸電動(dòng)載物臺(tái),配有壓電驅(qū)動(dòng)的 XYR 軸
XY 范圍:150 mm
Z 范圍:10 mm
旋轉(zhuǎn):360°(無(wú)限)
傾斜范圍:-38° 至 +60°
XY 重復(fù)性:1 μm
最大樣品高度:與共心點(diǎn)間距 55 mm
0° 傾斜時(shí)的最大樣品重量:500 g(包括樣品架)
最大樣品尺寸:完全旋轉(zhuǎn)時(shí) 150 mm(也可以是更大的樣品,但旋轉(zhuǎn)有限)
掃描電子顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置
掃描電子顯微鏡可選配件
掃描電子顯微鏡相關(guān)視頻
暫時(shí)不能提供,如需要詳細(xì)資料,請(qǐng)主動(dòng)與我們聯(lián)系。
掃描電子顯微鏡資料下載
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